접촉식 면저항측정기
Manual Type
Semi Auto Type
Full Auto Type
Handy type
비접촉식 면저항측정기
Manual Type
Semi Auto Type
Full Auto Type
In-line Type
Handy type
캐리어 라이프타임측정기
PN판정기
웨이퍼 두께측정기
Manual Type
Semi Auto Type
박막 두께측정기
TSV측정기
프로브헤드
확산저항측정기(SRP)
이미지센서 CIS 테스터
표준샘플
접촉식 면저항측정기 제품별 > 접촉식 면저항측정기
Semi-auto Rs/Res. measurement system
RT-30/RG-3000
- Rs : 5m~10MΩ/sq
- Res : 1m~100kΩ·cm
- Size : Up to 12 inch















- High cost performance
- High-accuracy and stable measurement
- Compact design
- Assure more stable measurement accuracy by the self-diagnostic test
- Simple operation by Windows (PC)

Measuring range
 ・Rs : 5m~10MΩ/sq 
 ・Res : 1m~100kΩ·cm

Sample sizes
 ・Size : Up to 12 inch