접촉식 면저항측정기
Manual Type
Semi Auto Type
Full Auto Type
Handy type
비접촉식 면저항측정기
Manual Type
Semi Auto Type
Full Auto Type
In-line Type
Handy type
캐리어 라이프타임측정기
PN판정기
웨이퍼 두께측정기
Manual Type
Semi Auto Type
박막 두께측정기
TSV측정기
프로브헤드
확산저항측정기(SRP)
이미지센서 CIS 테스터
표준샘플
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박막두께측정기 (비접촉, 광학식)
FilmTek™ 1000 Series 외
SCI (Scientific Computing International)

SCI는 1993년 박막분석, 설계 Software 회사로 California에 설립되었습니다.
96년 개발된 분석, 설계 Software [FilmWizasrdTM ]가 우수한 SW Package로 인정받으며
광학식 박막측정기 [FilmWizasrdTM Series]를 개발하게 되었습니다.
SCI 제품은 비접촉, 비파괴로 고정도 굴절률 측정이 가능하며 반도체, Optoelectronics, Data storage, Flat panel, MEMS, Photoresist, TSV(Through Silicon Via), 그밖의 성막공정을
가지고 있는 주요 기업에 납품되고 있으며 현재도 세계적으로 높은 평가를 받고 있습니다. 

SCI (Scientific Computing International) 광학식 박막 두께 측정시스템

광범위한 측정 파장, 독자적으로 개발한 알고리즘, 분석 Software 등 타사와는
비교할수 없을 정도의 여러가지 우수성을 가지고 있습니다.
유연한 시스템 조합으로 고객의 니즈에 보다 확실하게 대응 할 수 있습니다. 


※ Products List  <--클릭하시면 SCI 제품 상세사양을 확인 할 수 있습니다.


Products Line up

<1> FilmTek 1000 Series  :  간이식 간섭계 시스템

      -
FilmTek 1000UV (UV~영역광원)
      - FilmTek 1000M (Micro-spot)













<2> FilmTek 2000 Series  :  간섭계 Mapping 표준 시스템, 다층막 분석가능

      -
FilmTek 2000M (Micro-spot)
      
- FilmTek 2000M TSV (TSV측정)
      - FilmTek 2000SE (ellipsometer)
      - FilmTek 2000PAR













<3> FilmTek 3000
Series 
       :  DUV-NIR 범위 분광간섭계로 투명,반투면기판위 박막의 반사율,
          투과율 Mapping 측정
     
      - FilmTek 3000M
      - FilmTek 3000+NIR
      - FilmTek 3000SE
      - FilmTek 3000PAR













<4> FilmTek 4000 Series  
       : 멀티 각도 반사율 측정 및 Power Spectral 밀도(PSD) 고정도 측정

      -
FilmTek 4000VIS+IR
      - FilmTek 4000SE












<5> FilmTek SE  : Spectroscopic Ellipsometer






    





<6> FilmTek CD  :  반도체CD 측정

















<7> Wafer Scan  :  Silicon Wafer 두께, 평탄도 측정